請詳細閱讀本說明書，并妥善保存，以備日后維護時參考 ?。
1-1 風機過濾器單元
風機過濾器單元（FFU ）是一種 自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝 置 。
風機從 FFU 頂部將空氣吸入并經 HEPA 過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。廣泛用于半導體、液晶制造業、電子、生物制藥.等行業 。
● 使用環境
?周圍溫度：5℃～40℃
?濕度：低于 85%RH(沒有濕氣凝結狀態下)
?周圍空氣：一般室內空氣
?清凈度：100-10 級
?請避免連續反復 ON/OFF 操作機體
如果在未符合上述條件的環境下使用風機濾網機組，將會影響制品性能，并可能會發生電氣短路現象，造成電氣部件損壞，縮短制品使用壽命。為能安全且有效地使用風機過濾器單元請參閱第 4 頁的〝重要安全事項〞。

2 1-2 結構及特點

(1) 主要部件

1 2-1 安裝使用環境
● 風機過濾器單元的安裝應遠離加熱器、火爐或其它熱源。
● 設置風機過濾器單元場所不可放置易燃物，以免發生火災。
● 請勿在機體附近使用具爆炸性或揮發性的化學物品，如果機體吸入這些化學物品將有可能會導致火災或爆炸等事故發生。
● 請勿于機體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學藥品，如果使用這些化學藥品將有可能會導致機體腐蝕及損壞。
2 2-2 運送與安裝
● 請在風機過濾器單元包裝完好的狀態下搬運制品，搬運時務必保持水平，如果使用輕便推車等工具運送時，請選用車臺超過機體包裝寬度的推車。
● 機體安裝后，機體上方至少須預留 30 公分以上的空間，以利將來機體維修，未預留足夠的維修空間，機體將無法進行維修及部件更換。
● 試運轉前，請先拆除吸入口上及均流板下附著的保護膜。
3 2-3 安裝 ? 使用注意事項
● 風機過濾器單元安裝于無塵室時，請務必遵守下列指示
● 當進入無塵室時
請穿著防塵衣以免攜帶灰塵進入室內。
請以酒精清理工具以免攜帶灰塵進入室內。
請以酒精清理衣柜未保護處以免攜帶灰塵進入室內。
點檢時請使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產生灰塵。
● 切勿直接重壓風機過濾器單元機體，以免造成機體變形。
● 請勿以沾濕的手操作機體，以免發生觸電危險。
● 請勿遮蔽機體吸入口及吹出口，機體吸入口及吹出口被遮蔽，將導致機體性能無法正常發揮，造成機體功能異常或電氣部件損壞。
● 實施第三種接地工事，以避免電擊產生之危險。
. 2. 重要安全事項
3-1 1 1 1 運轉前檢查事項
運轉前請先檢查下列注意事項：
● 機體外部電源是否連接，電源供應是否妥當。
● 機體接地工事是否已實施。
● 機體上方空氣吸入口及下方濾網的保護膜是否已取下。
3-2 2 2 2 運轉時注意事項
(1) 開始運轉
● 當電源開啟后，機體即開始運轉。
● 機體運轉后請確認是否有異常現象。
當有下列情形發生，機體無法正常運轉時，請向經銷服務人員反映。
● 機體內部有異物，機體離心風扇無法正常旋轉。
● 機體內部電線脫落，接頭松脫。
● 機體內部電氣部件，如過電源插頭、馬達損壞。
(2) 停止運轉
● 運轉后如發現異常現象，請即切斷電源，停止機體運轉。

4. 維修 ? 點檢
● 自購買日起進行定期檢查，請勿自行檢查，以免造成觸電或火災等事故發生。
● 除了維修人員外，請勿自行拆解、修理或變更規格，以免造成觸電或火災的發生。
● 當更換濾網等部件時，請注意不要損壞濾紙。
● 維修?點檢時，請務必先切斷電源，停止機器運轉后再實施，以免發生觸電或傷害危險。
● 當安裝?維修?點檢完成后，在機體起動前，請確定機體基礎穩固。
4-1 日常維護
每天工作開始之前請依表 2.點檢下列各項，當發現有不正常的情形，立即切斷電源并采取改正措施。

4-2 定期維護
使用風機過濾器單元一段時間后，因使用環境及使用狀況之差異，為了防止意外及確保風機過濾器單元的正常運轉，請務必實施下列定期點檢。
4-2.1 定期維護
(1)定期維護項目請依表 3.所示，對風機過濾器單元實施定期點檢，當部件壽命已至時，請立即進行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會因使用環境及使用狀況而有所差異)。
(2)當由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學藥品的泄 漏 (腐蝕氣體…..等) 意外發生，
停機再啟動后，請務必實施相同的檢查。

3. 定期維護項目

表 4 ?消耗性部件的更換期間 ( 我司建議 )

4.2.2 點檢完成
點檢完成后，清潔工作場所及確認風機過濾器單元在正常運轉狀況；保留點檢報 告 ,當部件更換或機體更新時作為參考。
3 4-3 故障排除
?若有以下現象發生，連絡本公司并告知機身編號、機型、電壓及不良現象(盡可能詳細) ，然后慎重的調查問題的起因及采取適合的改善措施。

● 非服務技術人員請勿拆解、修理或修改風機過濾器單元，以避免造成嚴重的意外，例如觸電或火災。

● 當需要更換服務備品時，請務必依本說明書中表 1.所列之部件名稱提供予服務人員。
● 任何未經認可之代用品，不僅可能會影響風機過濾器單元的性能，同時可能造成火災、觸電或其它危險。

FFU概念及FFU原理

Fan Filter Unit（風機過濾單元機組）簡稱FFU，是由高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA）、微型風機、殼體組合而成的凈化空調末端，其用于亂流及層流潔凈室內。FFU通常都是與吊頂骨架配合使用，根據吊頂骨架的不同選擇與之對應的FFU。FFU的潔凈方式可以實現空氣潔凈度等級要求在ISO3∽ISO9（即1級∽100萬級）之間的潔凈室。

常見的潔凈室空氣處理方式有兩種，分別是MAU+AHU+HEPA（以下簡稱AHU系統）和MAU+FFU+DC干盤管（以下簡稱FFU系統）。通過對兩種方式的比較得出：FFU在凈化空調系統中充當了凈化循環機組，潔凈室的循環風量等于潔凈室內FFU的風量總和。潔凈室的空氣是由FFU從潔凈天花夾層中送進潔凈室內，并通過回風夾道將循環空氣再送回到天花夾層；循環空氣在通過回風夾道時與安裝在夾道中的DC干盤管進行熱量交換。

附FFU特點及用途

FFU的特點：低能耗、低噪音、方便靈活、節約空間、易安裝。

低能耗：從FFU的組成部件來看，需要消耗能量的只有微型風機，而微型風機的功率一般都是在110w∽190w之間，雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。通常潔凈室的循環風量是很大的，以面積為100m2、潔凈室內高為3m、空氣潔凈度等級要求為ISO6（即1000級）的潔凈室為例：《潔凈廠房設計規范（GB500073—2001）》規定空氣潔凈等級為ISO6的潔凈室的換氣次數為50∽60次/h。我們在這里取換氣次數為55次/h，FFU則總循環風量為16500CMH，補新風量我們取3000CMH。

方案1AHU系統中：MAU的全壓損失為700Pa,功率為2.2kw;AHU的全壓損失為1300Pa，功率為15kw；整個系統的總功率為17.2kw。

方案2FFU系統中：MAU的全壓損失為800Pa,功率為2.2kw；FFU規格為1200×600，風量1200CMH)有14個，單個FFU的功率為190W,FFU總功率為2.66kw；整個系統的總功率為4.86kw。

通過對方案1、2的功率比較，我們得出一個結論：FFU在系統充當循環風柜和高效過濾器的集合體，而且其消耗的功率遠比循環風柜AHU功率的要小，符合現在大力提倡節約型社會的主題，并給廠方在節約生產成本方面找到一個新的方向。

低噪音：《中戶人民共和國國家標準城市區域噪聲標準》規定：工業區FFU晝間65db(A)、夜間55db(A)。目前市場上風機的噪音值一般是在65∽90db(A)，有的甚至會達到100db(A) 以上，如果采用AHU系統就很容易噪聲超標，造成噪聲污染。而FFU的噪音值一般是在45∽55db(A)，這樣就不會擔心其噪聲會超標。

隨著科學技術的日新月異，尤其是軍事工業、航天、電子和生物醫藥等工業的發展，促使潔凈技術的發展也隨之突飛猛進，對FFU的需求也越來越大。本文重點闡述了FFU的特點及控制方式，并結合現代電子潔凈室對空氣潔凈度等級的要求；分析了FFU應用在潔凈室中的優勢，并介紹了FFU在實際工程案例中的應用。

隨著科學技術的日新月異，尤其是軍事工業、航天、電子和生物醫藥等工業的發展，促使潔凈技術的發展也隨之突飛猛進。現代化工業產品生產和現代化科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性。電子計算機就是微型化產品中最具代表性的產品之一，電子管到半導體分離器件到集成電路再到超大規模集成電路。特別是20世紀80年代大規模集成電路和超大集成電路的迅速發展，大大促進潔凈技術的發展。

附：潔凈室的空氣潔凈度，應進行下列測試

(一)空態、靜態測試

空態測試:潔凈室已竣工，凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態，室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。

靜態測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態，工藝設備已安裝，室內沒有生產人員的情況下進行測試。

(二)動態測試潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。

潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。

二、空態、靜態測試

(一)測試前的準備

1、應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進行徹底清潔。

2、采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數應為大于或等于30，000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2–3厘米處，可以2~4厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。

當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。

(二)測試內容

1、總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;

2、潔凈室壓力值;

3、層流潔凈室斷面風速和氣流流向;

4、潔凈工作區的潔凈度;

5、室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;

6、潔凈室內噪聲。

(三)潔凈工作區空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數，宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數。也可采用濾膜顯微鏡計數法。光散射粒子計數法:

1、光散射粒子計數器采樣量100級:每次采樣量大于或等于1升。l，000級-l0，000級:每次采樣量大于或等于0.3升。100，000級:每次采樣量大于或等于0.1升。對于100級潔凈室，宜采用大流量粒子計數器進行測試;如果條件不具備時，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。

2、采樣注意事項:

(1)采樣管必須干凈，連接處嚴禁滲漏。

(2)采樣管的長度，應根據儀器的允許長度。當無規定時，不宜大于1.5米。

(3)采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。

(4)采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。

3、測點布置

(l)檢測在潔凈工作區內進行。當生產工藝無特殊要求時，取樣高度宜為離地面1米

(2)層流潔凈室測點總數不小于20點，測點間距為0.5~2.0米，粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區內。

(3)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點(附圖2)。每增加20-50平方米，增加3–5個測點。

4、數據整理

(1)每個測點的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣，取其平均值，即為該點的實測數值。

(2)對于大于或等于0.5微米的塵粒數確定:層流潔凈室取各測定點最大值，亂流潔凈室取各測點的平均值。

(四)正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。

三、動態測試。在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空態、靜態測試。

凈化空調也就是組合式空調機,凈化空調能進行空氣運行制冷、干燥、加熱、加濕、混合、過濾凈化、消聲、輸送等處理過程，各 功能段組合靈活，可按使用場合要求任意多功能組合，能滿足各行業的空氣凈化，空氣調節系統的需要 ，廣泛應用于電子儀表、精密儀器制造、紡織、化織、卷煙、制藥、醫院手術室、食品、化妝品、核電 站、輕化工等行業作工業性空調，也適用于影劇院、體育館、商店、餐館、賓館、辦公大樓等大中型公
共建筑作適應性空調。

空調送風系統通過一定的流速將灰塵送到過濾系統當中，初級過濾器將5um以上大顆粒灰塵留在過濾表 面，中效過濾器將1um-5um顆粒抓取，高效過濾器將0.3um-0.5um以上灰塵顆粒過濾，從而保證無塵車間等級！
無塵室空調特性：

微塵粒子（按等級要求）
溫度（22-23攝氏度DB），濕度（40-45%RH）
恒溫恒濕控制要求（正負0.1攝氏度，正負2%）
全外氣與高換氣次數（化學藥品，氣體，揮發溶劑）
全天候（24hr）運轉（負荷大，備份機組）

氣流分布與控制
高能耗，高運轉以及維修成本（1.4-1.9KW/m2）
空氣循環量計算：
1、依空氣換氣次數（ACH）
Q=V*ACH
（m3/hr）=（m3/次）*（次/hr）
（2）依氣流速度（Airvelocity）

Q=V*A
（m3/hr）=（m/s）*（m2）
循環風量=風速*面積（房間或回風口）

2、依氣流速度（Airvelocity）
Q（立方米/hr）=v(m/s)*A(m2)

循環風量=風速*面積
（1）外氣量（Q1與Q2較大者）
Q1=制程排氣量（Qe）+間隙外洩量（Qi）+關門外泄量（Qd）
（2）外氣量=排氣量+10%排氣量（泄漏）+1%循環空氣量=8~10%循環空氣量

空調內過濾網設計方案
AirFilter（空氣過濾器.濾網）
初級濾網–外氣入口 （Pre-filter）（5um↑）
重擊濾網–空調箱中 （MediumEfficiencyFilter’BagFilter） （1um↑）
高效率濾網–無塵室 （HighEfficiencyParticulateAirFilter’HEPA） （1um↓）
超高效率濾網–Class100↑ （UltraLowPenetrationAirFilter’ULPA） （o.5u↓）
空調凈化應用
空調內濾網及空調系統示意圖

根據行業制程的不同要求，產品對無塵等級的要求不同，對過濾器的選型也是不一樣的，不但要對應過濾顆粒粒徑大小而設計，還要考慮空氣過濾器中不同規格的參數比如初阻力，效率精度，流速等因素來設計，選取相應的過濾器。